浙江半导体氦检漏设备服务介绍科创真空公司-北京科创鼎新真空技术有限公司

浙江半导体氦检漏设备服务介绍科创真空公司

2021-06-21

氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

真空箱氦检漏

真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。

基本技术参数编辑真空箱数量：根据实际需要真空箱容积：根据实际需要示漏氦气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要氦气回收率： ≧98%‘’

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氦气检漏设备主要技术指标

实际使用氦气检漏设备时，其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s；泄漏率显示范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内；响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力：1000Pa；3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。电源需要220v，50Hz，单相，10A。

使用氦气检漏设备时，请注意其机械泵的抽速为4L / S；工作环境要求为5-40℃；可检漏率：5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间：≤5min响应时间：<。应注意相对湿度必须小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量将保持在65kg。关于氦气检漏设备，应注意其配备了标准氦气检漏装置，包括更详细的校准报告。